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本发明涉及传感器及其部件的技术领域,公开了一种固态隔膜,包括衬底和贵金属层,所述贵金属层交替复合在衬底上,所述贵金属层包括至少两种由单一贵金属原子组成的贵金属原子层;所述贵金属原子层通过原子层层积技术沉积于衬底上,形成上、下层叠且紧密结合的贵金属层,相邻两个材质不同的贵金属原子层保持各自原有的贵金属特性。本发明通过原子层沉积技术实现贵金属催化层的形成,其制备的贵金属层结构厚度可控,不影响气体的透过率,且催化活性极高,响应速度快,同时贵金属层在衬底上的附着优良,能在长期高温环境和高浓度电解液下测试
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114594150 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210100182.4
(22)申请日 2022.01.27
(71)申请人 广州奥松电子股份有限公司
地址 5
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