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本发明公开的可编程衍射光栅型阿达玛变换光谱仪，包括第一单色仪、第二单色仪和可编程衍射光栅；第一单色仪包括入射狭缝、准直镜Ⅰ、光栅Ⅰ和聚光镜Ⅰ，将通过入射狭缝入射光线经准直镜Ⅰ准直后，经过光栅Ⅰ分光后经聚光镜Ⅰ成像到所述可编程衍射光栅上；第二单色仪包括准直镜Ⅱ、光栅Ⅱ、聚光镜Ⅱ和位于出射狭缝处的探测器，接收可编程衍射光栅5的反射光线，反射光线经准直镜Ⅱ准直后经光栅Ⅱ衍射，然后经聚光镜Ⅱ汇聚光谱图像到所述探测器上。通过微型光机电器件替代机械模板扫描，避免机械故障、结构简单、容易实现、信噪比高、光谱成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114593819 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202011415342.1
(22)申请日 2020.12.07
(71)申请人 中国科学院长春光学
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