薄膜晶体管及其制作方法、显示面板.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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薄膜晶体管及其制作方法、显示面板.pdf

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本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板。薄膜晶体管包括衬底以及在衬底之上依次形成的第一栅极层、第一绝缘层、有缘层和源漏极层，有源层的表面上沉积形成有非晶金属氧化物层，非晶金属氧化物层是在沉积的过程中，通过离子轰击有源层表面的金属氧结合键后形成的。本发明在有源层表面沉积非晶金属氧化物层，利用金属氧化物沉积过程中的离子轰击有源层的金属氧结合键，促进氧离子的偏析，使有源层表面处具有高的氧空位浓度，提高有源层表面的载流子浓度，从而提高薄膜晶体管的场效应迁移率，非晶金属氧化物层还可以改善正偏光照

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114613860 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210198537.8 (22)申请日 2022.03.02 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有