一种氧化物半导体生物传感器、制作方法及使用方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种氧化物半导体生物传感器、制作方法及使用方法.pdf

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本发明公开了一种氧化物半导体生物传感器、制作方法及使用方法，涉及半导体器件在生物检测中的应用技术。针对现有电解质栅薄膜晶体管型生物传感器技术中，电场作用下电解质溶液中的离子会通过电化学作用侵蚀有源层而导致器件性能不稳定的问题提出本方案。主要在于与电解质溶液直接接触的半导体有源层是化学稳定的单晶半导体。优点在于避免因晶界产生侵蚀导致的器件性能劣化问题，提高EGTFT传感器件性能的稳定性，对推进半导体场效应晶体管型生物传感器件的实际应用具有重要意义。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609221 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210225225.1 (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人中山大学地址 510275 广