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本发明提供不使用膜脱气装置而能够进行稳定运转的超纯水制造方法、超纯水制造系统、纯水制造方法及纯水制造系统。一种超纯水制造方法,其是将被处理水用第1反渗透膜装置(2)处理后,接着依次用电动式脱离子装置(3)及硼除去装置(4)处理,从而得到硼浓度为1ng/L以下的超纯水,其中,电动式脱离子装置(3)的被处理水含有超过1mg/L的碳酸,并且,电动式脱离子装置(3)的处理水被除去了碳酸、含有1μg/L以下的硼。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114616212 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202080072825.8 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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