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本申请实施例提供一种单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统，其中，方法包括：沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对硅棒进行切割，切割后形成第一侧面，第一侧面的宽度小于硅棒的直径；沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行四次切割，每次均通过一条切割线进行切割；四次切割形成的切割面中有两个切割面与第一侧面垂直，另外两个切割面与第一侧面平行；经过四次切割后形成两个小硅棒，每个小硅棒的横截面为矩形。本申请实施例提供的单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统能够对硅棒进行切割，以得到尺寸较小的小硅棒，直接对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114589823 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210421035.7
(22)申请日 2022.04.21
(71)申请人 青岛高测科技股份有限公司
地址 2
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