双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置.pdf

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本发明涉及一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接，在真空腔体顶端一侧设有抽真空系统、另一侧设有气压采集系统，在真空腔体外壁上对称设有两个凹板电极，在真空腔体一侧设有射频供电系统，且两个凹板电极均与射频供电系统相连。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114615785 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202011431851.3 (22)申请日 2020.12.07 (71)申请人中国科学院大连化学物理研究所地址