一种降低mems计量功耗的装置及工作方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.24万字
约 11页
2023-05-12 发布于北京
举报
版权申诉

一种降低mems计量功耗的装置及工作方法.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种降低mems计量功耗的装置，包括：气体流道、mems传感器、气体感应装置、磁铁、磁感应装置和控制装置，所述mems传感器与气体流道连接，所述气体感应装置设于气体流道内，所述磁铁设于气体感应装置上，所述磁感应装置设于气体流道的内壁，所述mems传感器、气体感应装置和磁感应装置均与控制装置连接。本发明对其结构进行了优化，气体流动的原因，气流将气体感应装置主体推动打开，当气体感应装置主体被气流推开的时候，磁铁远离了磁感应芯片，磁感应芯片无法感应到磁铁的位置，告诉流量计控制器管道有无气流

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114577286 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210348414.8 (22)申请日 2022.04.01 (71)申请人祎智量芯（江苏）电子科技有限公司地