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一种半导体设备故障检测和分类方案。监测和处理传感器迹线以将已知的异常运行状况与未知的异常运行状况分开。特征工程允许关注目标特征的相关迹线。建立机器学习模型以基于异常的初始分类集进行检测和分类。随着更多的迹线被处理和学习,机器学习模型不断更新。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114600087 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202080075571.5 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所
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