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本发明公开了一种基于光生自由载流子的芯片集成全光调制方法，泵浦光场通过定向耦合器进入光学调制器、通过双光子吸收效应产生自由载流子并改变传输波导折射率，信号光场相位随折射率变化实现有效调制。该方法基于现阶段相对成熟的芯片集成光路制备工艺，能够通过一次曝光刻蚀制备完成，同时兼顾高调制速率、低插入损耗、高机械稳定性、高制备效率等优势，有望在超大规模芯片集成光电系统中得到广泛应用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114609804 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202011443425.1
(22)申请日 2020.12.08
(71)申请人 军事科学院系统工程研究院网络信
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