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本发明公开一种高精度非对称双极性脉冲电源系统,能够精准控制输出功率,能够在负脉冲的上升沿提供一个正脉冲,正脉冲的大小和宽度可调。本发明包含移相逆变全桥电路,移相逆变全桥电路将直流电逆变成高频交流电,根据设定和反馈信号实时调整逆变频率和移相角,实时精准控制输出功率大小;斩波电路的IGBT关断之前的一段时间里,开通反极性电路的IGBT给电流互感器充电;在斩波电路的IGBT关断一段时间之后,斩波电路下一个脉冲来临之前,关闭反极性电路的IGBT。本发明有效解决了大功率高密度磁控溅射电源控制精度低的问题,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114649972 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202011512855.4
(22)申请日 2020.12.20
(71)申请人 松山湖材料实验室
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