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本发明提供一种防护膜组件的拆卸方法,其包括下述工序:准备层叠体的工序,所述层叠体按下述顺序的配置具备光掩模、防护膜组件框以及防护膜;在层叠体中的防护膜上形成粘着层的工序;以及从形成有粘着层的层叠体中的光掩模上,至少拆卸防护膜和粘着层的拆卸工序。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114641725 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202080076482.2 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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