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本发明公开了一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法,属于惰性气体净化回收技术领域,能够解决现有处理方式中由于经过加氢除氧工艺而导致安全隐患较大的问题。所述装置包括:第一载氧体反应器的入口与催化反应器的出口连接;第二载氧体反应器的入口与第一载氧体反应器的出口连接;催化反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管;空气输出管上设置有第一阀门;第一氧分析仪连接在催化反应器的出口处;第二氧分析仪连接在第一载氧体反应器的出口处;一氧化碳分析仪分别通过第二阀门和第三阀门连接第一载氧体反应器的出口和第二载氧体反应
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114645316 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202011514167.1
(22)申请日 2020.12.18
(71)申请人 中国科学院大连化学物理研究所
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