一种晶圆抛光系统、装载方法及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种晶圆抛光系统、装载方法及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种晶圆抛光系统，包括晶圆传递装置，包括固定座和载片台，固定座可带着载片台在晶圆传输通道内沿X轴方向移动；抛光模组，设于晶圆传输通道的侧边，可于载片台上获取晶圆进行抛光；固定座和载片台之间设有对接机构，该对接机构的部分与固定座相连，部分与载片台相连；当对接机构的两部分完成对接时，载片台和固定座实现限位，且该对接机构可在X轴和Y轴所在平面移动，以带动载片台移动至目标位置。本发明还公开了一种所述晶圆抛光系统的装载方法。本发明又公开了一种所述晶圆抛光系统的使用方法。本发明有效保证载片台移动

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114619308 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210316152.7 (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人杭州众硅电子科技有