单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.76万字
约 29页
2023-05-13 发布于四川
举报
版权申诉

单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统.pdf

1、本文档共29页，其中可免费阅读28页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请实施例提供一种单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统，其中，方法包括：通过一条切割线对硅棒进行切割，切割后形成第一侧面，第一侧面的宽度小于硅棒的直径；通过两条相互垂直的切割线对硅棒进行一次切割，其中一条切割线与第一侧面垂直相交，经该切割线切割形成第二侧面，第二侧面的宽度小于硅棒的直径；经另一条切割线切割形成的切割面与第二侧面相交；通过两条切割线对硅棒进行切割，至少一条切割线与第一侧面垂直，得到两个横截面为矩形的小硅棒。本申请实施例提供的单线双线切割硅棒的方法能够直接得到尺寸较小的硅棒，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114633388 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210421012.6 (22)申请日 2022.04.21 (71)申请人青岛高测科技股份有限公司地址 2