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提供了一种溅射靶以及使用该溅射靶制造电子器件的方法。溅射靶可以包括碳掺杂的GeSbTe合金,其中,对于碳掺杂的GeSbTe合金,烧结后的GeSbTe合金的平均粒径在0.5μm至5μm的范围内,并且烧结后的碳的平均粒径Yμm相对于烧结后的GeSbTe合金的平均粒径的第一比率可以在大于0.5且小于或等于1.5的范围内。可选地,对于碳掺杂的GeSbTe合金,可以满足Y=X×(Z/100)的条件,其中,烧结后的GeSbTe合金的平均粒径为Xμm,烧结后的碳的平均粒径为Yμm,并且碳含量为Zat%。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114635109 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202110766332.0 B22F 5/00 (2006.01)
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