表面轮廓测量系统.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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表面轮廓测量系统.pdf

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本申请公开了表面轮廓测量系统，该系统包含：一光源组件；一共焦显微镜组件，包含一光学分束器；一针孔装置，包含一阵列的针孔，该针孔装置被配置以使来自该光学分束器的均匀光通过该针孔装置至被测物体；一组入射光学组件，用以将来自该针孔装置的均匀光导引至该物体；及该针孔装置被配置以使来自该物体的反射光通过该针孔装置至该光学分束器，一光电检测器，用于接收来自该分束器的所述反射光；一组检测光学组件，将来自该分束器的所述反射光导引至该该光电检测器；该光电检测器可以检测并且解析出该物体表面三维形貌，从而测得该物体表

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641667 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202180005935.7 (74)专利代理机构苏州佳捷天诚知识产权代理