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本发明提供一种知识图谱的更新方法,包括:获取静态知识图谱,静态知识图谱基于目标数据构建,目标数据包括,半导体制造过程中产生的历史数据;基于当前数据构建动态知识图谱,当前数据为当前预设时间段内半导体制造过程中产生数据;基于动态知识图谱,更新静态知识图谱。本发明提供的知识图谱的更新方法,利用对后续半导体制造过程中产生的数据分析产生的知识,例如缺陷发现以及根因,对静态知识图谱进行不断的更新补全,保证了知识图谱的知识全面性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114637864 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202210343925.0
(22)申请日 2022.04.02
(71)申请人 筏渡(上海)科技有限公司
地址 2
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