用于调节粒子束显微镜的方法和粒子束显微镜.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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用于调节粒子束显微镜的方法和粒子束显微镜.pdf

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一种用于操作粒子束显微镜的方法，包括在偏转装置的给定激励和第一焦点设置下记录第一粒子显微镜图像、在偏转装置的给定激励和第二焦点设置下记录第二粒子显微镜图像、以及基于第一粒子显微镜图像、第二粒子显微镜图像和提前已知的函数关系确定偏转装置的新激励。函数关系表示当根据偏转装置的激励改变焦点设置时记录的粒子显微镜图像的位移。通过新激励，粒子束显微镜然后被调节，从而可以通过其记录清晰的图像。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114628209 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202111490520.1 (22)申请日 2021.12.08 (30)优先权数据 102020132581.9