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提供了半导体结构及其形成方法。根据一个实施例,半导体结构包括:第一纳米结构;第一栅极结构,包裹第一纳米结构中的每个并且设置在隔离结构上方;以及背侧栅极接触件,设置在第一纳米结构下方并且与隔离结构相邻。第一栅极结构的底面与背侧栅极接触件直接接触。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114628328 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210083536.9
(22)申请日 2022.01.25
(30)优先权数据
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