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用于在基材上形成含Li的膜、岛或簇的方法包括以下步骤:将无硅的锂前体的蒸气引入到反应器中,以及使用气相沉积方法将该无硅的锂前体的至少一部分沉积到该基材上以形成该含Li的膜、岛或簇。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114641593 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202080077058.X 尼古拉斯 ·布拉斯科 上村直
(22)申请日 2020.10
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