微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.08万字
约 11页
2023-05-13 发布于四川
举报
版权申诉

微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种带有弹性薄膜的电容式力敏传感器，属微机电技术领域。在它的弹性薄膜的中心部位设有可动电容极板。此电容的另一极板——定极板则通过支架固定在边框上，与可动极板保持微小极间距。本发明是对同名发明专利(申请号201811091210.0)的改进。主要内容是改变制造顺序：在已有技术中上边框与膜片键合时至少有一个键合表面是已经过微电子加工的表面而非原初的“光片”表面。而在本发明中，上边框键合时两键合表面都处于“光片”状态。本发明还提出一种新的定极板——支架构造以缩小制造尺寸，并提高其工作温度上限

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114623955 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210316008.3 (22)申请日 2022.03.29 (66)本国优先权数据 202122498543.9