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本发明提供了一种陶瓷湿度传感器,其能够提前泵出氧气,在无氧气存在的情况下电离水直接获取电流值进而得到湿度值,提高了湿度测量的准确性,其特征在于:第一氧化锆陶瓷层的一端上侧设有第一、二外电极,所述第一、二外电极分别通过导线与第一电极引脚的第一、四引脚相连;第二氧化锆陶瓷层的一端设有第一、二空腔,所述第一、二空腔的位置分别与所述第一、二外电极相对应,所述第一空腔通过第一多孔层与外界连通,所述第一、二空腔之间通过第二多孔层连通,所述第一、二空腔的下侧分别设有第一、二内电极,所述第一、二内电极分别通过导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114646683 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202011499257.8
(22)申请日 2020.12.18
(71)申请人 江苏惟哲新材料有限公司
地址 21
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