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本发明公开了一种清洗装置，用于清洗晶圆传输设备，晶圆传输设备包括晶圆支撑臂，清洗装置包括第一清洗块和第二清洗块；其中：第一清洗块和第二清洗块中的至少一者开设有介质入口，第一清洗块和第二清洗块均设有多个介质出口；第一清洗块和第二清洗块可相对运动以对接形成清洗空间，清洗空间用于容纳晶圆支撑臂，且第一清洗块和第二清洗块形成的结构用于环绕晶圆支撑臂，多个介质出口沿清洗空间的内壁设置，以用于环绕晶圆支撑臂。上述方案可以解决清洗装置只能从一侧对晶圆支撑臂进行清洗，而存在对晶圆支撑臂清洗不完全的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114643223 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210333213.0
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地址
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