压力传感器、压力分析仪及其制备方法.pdfVIP

压力传感器、压力分析仪及其制备方法.pdf

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本申请提供了一种压力传感器及包含其的压力分析仪,属于传感器技术领域。压力传感器包括刚性层和弹性层;所述刚性层包括光源和超透镜;所述超透镜设置在所述光源的发光侧;所述弹性层包括探测器和换能器;所述探测器设置于所述超透镜背离所述光源的一侧,且探测器的受光面朝向所述超透镜;所述换能器的一端连接所述超透镜,所述换能器的另一端连接所述探测器;所述换能器通过弹性形变改变所述探测器和所述超透镜的间距。本申请实施例提供的压力传感器通过测量光斑变化避免了测量电阻变化时的误差,提高了压力传感器的灵敏度和响应速度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114623960 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210227614.8 (22)申请日 2022.03.08 (71)申请人 深圳迈塔兰斯科技有限公司 地址 5

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