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一种用于校准套刻量测准确性的校准标记及测量方法、校准方法,所述校准标记,包括:四个象限,每一个象限中具有一组校准标记,且所述四个象限中的四组校准标记的排列方向按照顺时针方向或逆时针方向相应的旋转90度或180度,且所述每一组校准标记均包括位于前层的若干平行的第一条状图形和位于当层的若干平行的第二条状图形,相邻的两个所述第一条状图形之间具有沟槽,且每一个所述第二条状图形相应的位于所述相邻的第一条状图形之间的沟槽的上方。本申请的校准标记,提高量测的准确性,并且简化了测量的过程,提高了测量的效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114623787 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210240353.3
(22)申请日 2022.03.10
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
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