一种基于ITP成像的接近式步进器.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种基于ITP成像的接近式步进器.pdf

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本发明提供一种基于ITP成像的接近式步进器，包括横板，所述横板一端固定连接有竖向布置的第一支板，所述横板另一端固定连接有竖向布置的第二支板，所述第一支板与第二支板之间转动安装有与横板平行布置的丝杆，所述丝杆上螺纹连接有用于安装ITP成像设备的滑座，所述第一支板与第二支板之间安装有与丝杆平行布置的螺纹杆，所述螺纹杆上套设有两个支座，所述支座的两侧均设有用于限制支座与螺纹杆相对位置的螺母，所述载板竖直部安装有可拆卸的用于控制步进电机正转和反转的接近开关，本发明具有如下的有益效果：实现根据产品的尺寸调

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114640221 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210126919.X (22)申请日 2022.02.11 (71)申请人江苏微影半导体有限公司地址 22