一种褪除金属工件表面碳膜的方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种褪除金属工件表面碳膜的方法.pdf

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本发明属于金属材料表面处理技术领域，具体涉及一种褪除金属工件表面碳膜的方法。本发明采用高频电场离化惰性气体，获得混合惰性气体的等离子体，使金属件完全浸没在等离子体中，通过高能粒子溅射与活性离子蚀刻的复合作用去除金属件表面碳膜，是一种物理化学复合作用的过程。该方法可以有效去除金属件表面的碳膜，对金属件无损伤，不影响金属件的公差尺寸，同时采用的惰性气体对环境没有任何污染，适合大规模使用。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114645281 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210356148.3 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人岭南师范学院地址 524048