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本发明公开了晶圆传输盒，包括一侧开口的盒体，盒体限定形成一个主腔体。主腔体内部设置有用于晶圆存放的栅架，栅架将主腔体分隔成多个用于单个晶圆存放的晶圆插槽。盒体的开口处设置有固定在盒体上的开口板组，开口板组上开设有若干连通主腔体和外部空间的晶圆交流口，晶圆交流口的数量和位置与晶圆插槽匹配。每个晶圆交流口均能通过一个阀门组件启闭。盒体上还设置有晶圆检测装置，用于检测主腔体内的晶圆的位姿。阀门组件结构紧凑，可以省去晶圆加载机的开门装置，节约空间，简化结构的复杂程度。同时自带晶圆位姿检测功能，可以及时发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114628292 B
(45)授权公告日 2022.07.29
(21)申请号 202210528134.5 (51)Int.Cl.
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