用于测量工件厚度的色度范围传感器系统.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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用于测量工件厚度的色度范围传感器系统.pdf

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提供了一种色度范围传感器(CRS)系统，所述CRS确定工件厚度并且包含光学笔、照明源、波长检测器和处理部分。所述光学笔包含提供轴向色度色散的光学器件部分，所述照明源被配置成产生多波长光，并且所述波长检测器包含沿测量轴分布的多个像素。在操作中，所述光学笔输入来自所述照明源的光谱并将对应的辐射输出到工件(例如，所述工件可以是透明的)的第一工件表面和第二工件表面，并且将所反射辐射输出到提供输出光谱数据的所述波长检测器。所述处理部分对所述输出光谱数据进行处理以确定所述工件的厚度。在各个实施方案中，所述用

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114646267 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202111540823.X (22)申请日 2021.12.16 (30)优先权数据 17/126,191 2020