一种真空吸液加工头.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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本发明属于微细电解加工技术领域，公开了一种真空吸液加工头，包括：具有腔体的加工头本体、具有凹槽和边缘的绝缘基座、管电极模块和负压吸液模块；所述加工头本体、绝缘基座和管电极模块同轴装配，且所述管电极模块中的管电极上端位于所述加工头本体的内腔内；所述绝缘基座用于支撑所述管电极模块；所述管电极穿透所述绝缘基座的凹槽，作用于所述绝缘基座下方的工件上；电解液从所述管电极上端进入，沿着管电极作用到工件的加工区域；所述负压吸液模块连通于所述管电极模块，用于将电解液在所述加工区域加工后的产物通过管电极模块与绝缘

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114632985 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202011483553.9 (22)申请日 2020.12.15 (71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研