一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用.pdf

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本发明公开了一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用，该装置由坩埚和加热组件组成，坩埚由坩埚体和坩埚盖组成，坩埚体和坩埚盖之间形成坩埚空腔；所述的加热组件位于坩埚空腔内，由加热体和支撑板组成，加热体固定在支撑板上，支撑板与坩埚体下底面接触，使热量传输至加热体上。本发明所述的装置能够大幅度的提高坩埚装置中心的温度，无须额外的加热设备即可对坩埚体中的中心区域的氮化铝多晶料进行加热，使得坩埚装置内的氮化铝多晶料受热更加均匀，有效的提高物质传输效率，提高氮化铝多晶料的利用率，有利于大尺寸的氮化铝晶体的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114645318 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210257423.6 (22)申请日 2022.03.16 (71)申请人齐鲁工业大学地址 250399