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本发明的目的在于提供光掩模的污染的抑制性优异的防护膜组件的拆卸方法。提供一种防护膜组件的拆卸方法,其包括下述工序:准备层叠体的工序,所述层叠体按下述顺序的配置具备光掩模(805)、防护膜组件框(803)以及防护膜(802);准备电极(810)的工序;以及拆卸工序,将层叠体和电极(810)以使层叠体中的防护膜(802)与电极(810)对置的方式进行配置,并且通过对于电极(810)施加电压,从而产生静电引力,通过所产生的静电引力将防护膜(802)向电极(810)的方向吸引,从而从层叠体中的光掩模(8
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114641724 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202080076341.0 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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