用于基板料盒的装卸装置、基板料盒系统.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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用于基板料盒的装卸装置、基板料盒系统.pdf

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本发明涉及一种用于基板料盒(2)的装卸装置(7)，基板料盒(2)具有多个隔间(3)，这些隔间中可插入多个基板(4)来进行存储或临时存储，所述装卸装置包括：至少一条可控的传送带(8)，其上可放置基板(4)；以及至少一个可控的夹持臂(11)，其构造为将基板(4)从传送带(8)推入到基板料盒的隔间中或将基板从隔间(3)推出到传送带(8)上，传送带(8)和夹持臂(11)布置于可移动地安置的公共载体(17)。夹持臂(11)至少基本上布置于传送带(8)下方以从下方夹持基板(4)，传送带(8)上方布置有可移动

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641854 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202080076808.1 (74)专利代理机构北京高沃律师事务所 11569