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2023-05-13 发布于北京
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本申请实施例提供一种退火设备，涉及退火装置技术领域，用于解决与基板边缘位置对应的显示模组区域在显示画面时存在低灰阶画面不均一的技术问题。该退火设备包括退火腔，所述退火腔内沿第一方向间隔设置有至少两个加热层，相邻两个所述加热层以及相邻两个加热层之间的侧壁围合形成一个退火室；相邻两个加热层之间的侧壁包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有第一加热器和进气孔，所述第二侧壁上设置有出气孔；所述进气孔的出气端设置有第一导气管，所述第一导气管伸入所述退火室内。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639621 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210222274.X (22)申请日 2022.03.07 (71)申请人云谷（固安）科技有限公司地址 0