一种用于LCD/OLED面板设备的双电极静电卡盘的制作工艺.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种用于LCD/OLED面板设备的双电极静电卡盘的制作工艺.pdf

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本发明公开了一种用于LCD/OLED面板设备的双电极静电卡盘的制作工艺，包括以下步骤：S1、制作金属基板，并在所述金属基板上安装给电部；S2、在所述金属基材上用大气等离子熔射形成下电介质层；S3、在下电介质层上制作带有空隙的遮蔽层，制作遮蔽层使用的材料为水溶性的树脂；S4、通过大气等离子熔射在遮蔽层的空隙处形成电极层；S5、冲洗静电卡盘，清除遮蔽层；S6、在电极层上用大气等离子熔射形成上电介质层。采用本发明提供工艺，可以在长宽达3m以上的范围内比较方便能形成宽度和间隔在1mm左右的金属线，以形成

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649252 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210263323.4 B32B 17/00 (2006.01) (22)申请日 2022.03.