传输校正机构及硅片生产流水线.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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传输校正机构及硅片生产流水线.pdf

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本发明涉及一种传输校正机构及硅片生产流水线，硅片生产流水线包括传输校正机构，传输校正机构包括驱动模块、传输模块和校正模块，传输模块传动连接于驱动模块，传输模块能在驱动模块的驱动下沿第一方向传输工件；校正模块连接于传输模块，校正模块具有校正间隙，校正间隙沿第二方向的尺寸能够在驱动模块的驱动下减小或增大，第二方向垂直于第一方向。当校正间隙沿第二方向的尺寸减小时，校正模块能够触碰到工件相对两端，以对工件放置于传输模块的位置进行校正。使得只需一个电机即可同时驱动传输模块及校正模块一次完成传输和校正两个动

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639625 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210246370.8 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址 2