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包含复合颗粒(例如二氧化铈涂布的二氧化硅颗粒)的化学机械平面化(CMP)抛光组合物为抛光氧化物膜提供了低凹陷、低缺陷和高去除速率。使用软抛光垫,化学机械平面化(CMP)抛光组合物已经显示出优异的性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114621686 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210363963.2 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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