用于探测微机械传感器填充介质中的夹杂的方法和传感器系统.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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用于探测微机械传感器填充介质中的夹杂的方法和传感器系统.pdf

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提出一种用于探测微机械传感器305的填充介质330中的夹杂340的方法100、200和一种包括该微机械传感器的传感器系统300。所述方法包括步骤：提供105、205具有布置在包括填充介质330的壳体325中的传感器元件315的微机械传感器305，该填充介质包围该传感器元件和/或邻接的加热结构310；在加热时间t期间借助该加热结构馈送热能Q，其中，该填充介质在第一工作模式301下作为用于该传感器元件的热导体起作用，和如此识别该填充介质中的夹杂340：检测该微机械传感器基于所述热能而发生的加温T，其

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114636727 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202111543998.6 (22)申请日 2021.12.16 (30)优先权数据 102020216003.1