具有钙钛矿电介质的金属绝缘体金属(MIM)电容器.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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具有钙钛矿电介质的金属绝缘体金属(MIM)电容器.pdf

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描述了金属绝缘体金属电容器。在示例中，金属‑绝缘体‑金属(MIM)电容器包括第一电极板和在第一电极板上的第一电容器电介质。第一电容器电介质是或包括钙钛矿高k电介质材料。第二电极板在第一电容器电介质上，并具有在第一电极板之上并与第一电极板平行的部分，并且第二电容器电介质在第二电极板上。第三电极板在第二电容器电介质上，并具有在第二电极板之上并与第二电极板平行的部分。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649477 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202111375500.X (22)申请日 2021.11.19 (30)优先权数据