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本发明公开了一种用于TAIKO晶圆加工的去环工作台,包括工作台面、模组、支撑架、固定槽与气缸,所述工作台面的底端与支撑架固定连接,所述支撑架的底端固定连接有底座。本发明通过设置限位板、第二固定板与推块,除通过上一个机械手将含有晶圆的框架搬运至吸附定位盘上,模组与滑块带动外框向上移动,通过上一个机械手使晶圆与吸附定位盘同心后,再通过真空发生器通到吸附定位盘与外框中,吸住晶圆与膜,然后通过气缸带动连接座,第二固定板,使得第二固定板抱住框架,然后通过模组与滑块带动外框向下移动,使得外框与吸附定位盘具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114643650 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210235637.3
(22)申请日 2022.03.11
(71)申请人 江苏京创先进电子科
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