一种用于晶圆边缘解胶的装置.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种用于晶圆边缘解胶的装置.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆边缘解胶的装置，包括第一箱体、滑槽、传动气缸、热风机和固定板，所述第一箱体内部安装有晶圆放置盘，所述传动气缸侧面连接于第一箱体和第二箱体内壁上，所述第一箱体内壁安装有计时器板，所述安装槽内部安装有计时器，所述热风机安装于第二箱体内部，所述热风机底面开设有圆环状出风口，所述第二箱体顶部设置有顶盖，所述顶盖表面安装有橡胶缓冲板。本发明通过设计的热风机构，热风机构中的热风机吹出的热风由圆环状出风口吹向晶圆的边缘，可加快紫外线对晶圆边缘解胶的速度，设计的计时器板、第一缓冲块和计时

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639623 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210271999.8 (22)申请日 2022.03.18 (71)申请人江苏京创先进电子科技有限公司地址