一种质子注入VCSEL耦合阵列与微流通道结合芯片制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种质子注入VCSEL耦合阵列与微流通道结合芯片制备方法.pdf

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本发明公开了一种质子注入VCSEL耦合阵列与微流通道结合芯片制备方法，本发明在两个VCSEL耦合阵列单元间设计微流通道，通过在微流通道注入不同折射率的液体使达到光束偏转的目的，通过采用质子注入、光子晶体或腔诱导反波导等技术，实现VCSEL阵列单元间的耦合，阵列各单元发射出功率一致的相干光。利用VCSEL阵列平面结构的特点，通过光刻、溅射、PECVD、ICP、蒸镀等工艺，在两个VCSEL耦合阵列单元间设计微流通道，从而获得体积小、结构紧凑、集成度高的光束扫描芯片。它解决了传统的光学相控阵光束扫描装

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114640021 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210174124.6 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人北京工业大学地址 100124