一种多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用.pdfVIP

下载本文档

2
0
约2.29万字
约 23页
2023-05-13 发布于北京
举报
版权申诉

一种多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用.pdf

1、本文档共23页，其中可免费阅读22页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用，包括金属辅助化学刻蚀硅基纳米草系列实验及参数设计；电场/电流辅助下多维度复杂结构表面上硅基纳米草的制备；基于光刻掩膜工艺的图案化硅基纳米草。本发明研究了金属辅助化学刻蚀硅基纳米草中的各项参数，为之后不同应用场景中工艺参数的选择提供了重要的参考依据；采用了电场/电流的辅助方法，设计了专用电流/电场下金属辅助化学刻蚀的实验平台，克服了传统制备方法中对重力的依赖性以及横向刻蚀的不可控性，实现了多维度复杂结构表面的硅基纳米草湿法可控制备技术；采用图案化掩膜方案，结

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114620675 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210274651.4 (22)申请日 2022.03.18 (71)申请人北京航空航天大学地址 10008