工艺角检测电路与工艺角检测方法.pdfVIP

下载本文档

11
0
约2.12万字
约 20页
2023-05-13 发布于北京
举报
版权申诉

工艺角检测电路与工艺角检测方法.pdf

1、本文档共20页，其中可免费阅读19页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本公开提供一种工艺角检测电路与工艺角检测方法，工艺角检测电路包括：设置在芯片中的M个环形振荡器(M≥1)，所述M个环形振荡器的N型晶体管类型不完全相同，P型晶体管类型不完全相同，所述M个环形振荡器的晶体管类型包括所述芯片中使用的全部晶体管类型，所述环形振荡器包括对称环形振荡器和不对称环形振荡器，所述对称环形振荡器的N型晶体管种类和P型晶体管种类相同，所述不对称环形振荡器的N型晶体管种类和P型晶体管种类不同。本公开实施例可以准确检测芯片中各类晶体管的工艺角。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639610 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202011480100.0 (22)申请日 2020.12.15 (71)申请人长鑫存储技术有限公司地址 230