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本公开提供一种工艺角检测电路与工艺角检测方法,工艺角检测电路包括:设置在芯片中的M个环形振荡器(M≥1),所述M个环形振荡器的N型晶体管类型不完全相同,P型晶体管类型不完全相同,所述M个环形振荡器的晶体管类型包括所述芯片中使用的全部晶体管类型,所述环形振荡器包括对称环形振荡器和不对称环形振荡器,所述对称环形振荡器的N型晶体管种类和P型晶体管种类相同,所述不对称环形振荡器的N型晶体管种类和P型晶体管种类不同。本公开实施例可以准确检测芯片中各类晶体管的工艺角。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114639610 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202011480100.0
(22)申请日 2020.12.15
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
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