一种二氧化硅绝缘膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种二氧化硅绝缘膜及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种二氧化硅绝缘膜及其制备方法，所述二氧化硅绝缘膜的制备方法包括：（1）称量γ‑(2,3‑环氧丙烷)丙基三甲氧基硅烷、肌醇六磷酸和无水乙醇并混合，得到A溶液；（2）称量甲基三乙氧基硅烷、正硅酸乙酯、去离子水和无水乙醇并混合，得到B溶液；（3）将所得A液体和B溶液混合得到混合液，再经水浴加热，得到二氧化硅溶胶；（4）在金属基材上涂敷所得二氧化硅溶胶，再经热处理，得到所述二氧化硅绝缘薄膜。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114634723 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202011482683.0 (22)申请日 2020.12.16 (71)申请人中国科学院上海硅酸盐研究所地址