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本发明属于热流传感器领域,具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好;批量制备技术设计思路简单易行,在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上,通过特殊的图形化结构设计,一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器,易于工业化大批量生产,大大提高工作效率,降低了成本。同时,可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品,便于在测试时,根据不同需求选择不同个数样品进行测试,能够有效应对大热流场的测量需求应用场景,便于形成集成传感器芯片模块,充分发挥微系统
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114639768 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202210286974.5 G01K 17/00 (2006.01)
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