一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备.pdf

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本发明公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接；所述转动组件设置在所述第一移动支架上，所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；该装置通过转动组件、升降组件及真空机之间的配合，利用大气压完成进料按压，在按压材料的过程中不断提高第一移动支架的高度，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114619543 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210292313.3 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人株洲火炬安泰新材料有限公司地址