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本发明涉及一种基于菱形环和对称反相放大杆的二级驱动压电堆栈泵，属于压电泵技术领域。包括压电驱动机构和双腔隔膜泵；压电驱动机构包括第一级位移放大机构、第二级位移放大机构、压电堆栈、一对质量块和一对附加质量块。第一级位移放大机构包括菱形放大环，压电堆栈固定设于菱形放大环的一对输入端之间；第二级位移放大机构包括反相放大杆，反相放大杆为H形杆，其中中部为竖梁，两侧边为一对驱动臂；双腔隔膜泵固定安装于一对驱动臂的腰形孔处。本发明一方面解决了位移放大机构存在的支撑底座设计困难、振动能量浪费严重的问题，另一方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114640270 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202210380183.9
(22)申请日 2022.04.12
(71)申请人 合肥工业大学
地址 230009
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