一种亚10nm间隙电极对的制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种亚10nm间隙电极对的制备方法.pdf

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本发明提出了一种亚10nm间隙电极对的制备方法，根据三角形电极对尖端角度不同将电极对尖端设计为交叠/零间距/不交叠等结构；通过电子束光刻得到电极对图案，利用电子束蒸发系统沉积金属；将沉积金属后的电极对放置在SEM中进行热处理，通过电子束的辐照热效应调节电极对顶角间的间距，从而得到亚10nm间隙电极对。本发明中的制备方法简单易操作，而且可以在观察电极对形貌的同时可控地调节电极对间隙，得到想要的电极对间距，完全克服了当前亚10nm间隙电极对尖端相互粘连和间隙尺寸难于精确控制的制备工艺难题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649204 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210254670.0 (22)申请日 2022.03.15 (71)申请人南京大学地址 210093 江苏